Le LiDAR hybride à semi-conducteurs peut être classé en quatre types selon le mode de balayage, à savoir :
Afin de reconnaître le modèle de détection par balayage, le module émetteur-récepteur reste immobile tandis que le moteur réfléchit le faisceau vers une certaine zone de l'espace tout en entraînant le miroir rotatif.
Un micro-miroir vibrant MEMS est intégré à la puce de silicium, suspendu entre des barres de torsion à une certaine fréquence harmonique, et les miroirs rotatifs reflètent le faisceau du laser pour effectuer le balayage. Cependant, le matériau de la poutre de suspension d'un microvibrateur MEMS à miroir de grande taille présente des problèmes de fatigue. Il ne peut pas passer les chocs, les vibrations, les températures élevées et basses et autres certifications automobiles, ce qui entraîne une instabilité de la durée de vie.
Grâce au balayage non répétitif, la couverture du champ de vision peut être proche de 100% avec une durée de balayage accrue ; cependant, sa vitesse élevée, sa courte durée de vie, sa faible fiabilité et son balayage non répétitif ne peuvent pas être utilisés pour correspondre aux algorithmes de conduite automatique.
Plus souvent utilisé sur les LiDAR avec une source lumineuse de 1550nm. La source lumineuse de 1550nm est un laser à fibre, qui est de grande taille. Afin de réduire la taille du LiDAR et d'obtenir un balayage de haute précision de plusieurs faisceaux, un oscillateur mécanique est utilisé pour obtenir une couverture de balayage à angle vertical.
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